微流量檢測是一種利用敏感元件的熱敏特性測量微小氣體流量變化的氣體測量方法。傳感元件是兩個微型熱絲電阻鎳鎘柵和另外兩個輔助電阻組成惠斯通電橋。熱絲電阻通電加熱至一定溫度，當有氣體流過時，帶走部分熱量使熱絲元件冷卻，電阻變化，通過電橋轉變成電壓信號。

微流量紅外氣體分析器原理結構
接收氣室由填充了待測組分的多層串聯氣室組成，第一層吸收紅外輻射波帶中間位置的能量，第二層吸收邊界能量，二者之間通過微流量傳感器連接在一起。當切光片處于“接通”位置時，第一層接收氣室填充的待測組分吸收紅外輻射能量后，受熱膨脹，壓力增大，氣流經毛細管通道流向第二層接收氣室；當切光片處于“遮斷”位置時，第一層氣室填充氣體冷卻收縮，壓力減小，第二層氣室的氣流經毛細管通道反向流回第一層氣室。切光片交替通斷，氣流往返流經微流量傳感器，便在檢測器電橋兩端產生了交流信號，信號幅度大小與流經傳感器的氣體流量成正比，而與待測組分的濃度成反比。

微流量傳感器中有兩個被加熱到大約120℃的鎳格柵，這兩個鎳格柵電阻和兩個輔助電阻形成惠斯通電橋。脈沖氣流反復流經微流量傳感器，導致鎳格柵電阻阻值發生變化。

接收氣室采用串聯型結構是為了消除干擾組分對測量結果的影響。在接收氣室中，除填充待測組分外，還根據被測氣體的組成填充一定比例的干擾組分。干擾組分在第一、二兩層氣室中對紅外輻射的吸收，產生的壓力作用方向相反，相互抵消。還設有第三層接收氣室，其功能是延長二層氣室的光程長度，吸收紅外輻射邊緣能量，并可通過滑片調整三層氣室的透光孔徑大小，改變紅外吸收，最大限度地減少某個干擾組分的影響，作用相當于一個可調光錐。

微流量紅外氣體分析器性能特點
(1)雙光路的微流量紅外氣體分析器穩定性好，可以在線使用。

(2)靈敏度高，可以分析微量氣體。

(3)檢測器結構簡單，成本低廉。

(4)檢測器可以串聯使用，適合同時分析多種組分。

(5)檢測器不怕振動，振動對儀器測量無影響。

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