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擴散硅壓力傳感器是眾多壓力傳感器分類的一種,其使用也是較為廣泛。下面德圖儀器小編將為大家介紹一下擴散硅壓力傳感器的工作原理,希望能對大家有所幫助。
被測介質的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產生與介質壓力成正比的微位移,使傳感器的電阻值發生變化,和用電子線路檢測這一變化,并轉換輸出一個對應于這一壓力的標準測量信號。
擴散硅壓力傳感器工作原理圖
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